流量計測のみの機能であるか、流量の制御も行えるかの点が異なります。
流量計測と制御を行われたい場合は、マスフローコントローラをお選び下さい。
流量計測のみを行われたい場合は、マスフローメータをお選び下さい。

製品毎に標準継手をご用意しております。
標準継手以外をお選びいただける製品も御座います。
詳しくは、カタログ仕様表や注文方法覧にある「継手」をご参照下さい。

具体的な流体名と混合比率をご教示下さい。
ご教示頂いた条件仕様でお使い頂ける製品の選定や製作可否をお知らせします。

原則として製品１台につき１流体の適合としておりますが、ガス種切替機能を搭載しております製品も御座います。

具体的な流体名をご教示下さい。対象流体の特性を確認した上で、適合するシール材を用いた製品をご提案致します。
※原則ドライガスであることが条件です。

SCCMは、Standard Cubic Centimeter per Minuteの略で０℃・大気圧状態におけるcc/minを表す値です。SLMは Standard Liter per Minuteの略で同条件における L/min を表す値です。
マスフローコントローラ ／メータは質量流量計ですが、流量は体積で表すことが一般的であることから体積流量を単位としています。
半導体業界では 0 ℃ ･大気圧状態を標準としていますが、他の業界では 20℃・大気圧状態を標準と定義し、０℃・大気圧状態をNCCM／NLMとする場合が在ります。その為、弊社マスフロー製品での表記に関しましては、例えばSCCM（０℃、１atm）、NLM（０℃、１atm）と言った基準温度・圧力を併記して製品ご注文時にご指定ください。

マスフローコントローラが正常動作出来る一次側と二次側の圧力差です。
製品毎の動作差圧範囲についてはカタログ仕様表をご覧下さい。
製品仕様範囲外の差圧で使用されると正常動作を行えない場合が御座います。

ゲージ圧は、大気圧をゼロとした場合の圧力です。
絶対圧は、絶対真空をゼロとした場合の圧力です。
弊社は、ゲージ圧での圧力表示を原則としております。

発行可能です。担当営業或いは各営業所にご依頼下さい。
対象品の正式な型式、書類宛名、製品用途、輸出先、エンドユーザ社名を予めご確認頂けますと発行をスムーズに行うことが可能です。