Q. MFMとは?
A. マスフローメータの略。主に電子式質量流量計を指す。
Q. MFCとは?
A. マスフローコントローラの略。主に電子式質量流量制御器を指す。質量流量センサとコントロールバルブを持ち、センサー出力と流量設定入力を用いて、一定流量となるように制御を行なう。
Q. 質量流量とは?
A. 流体の流量を表現する場合に質量で考えた場合を指す。
SI単位系ではキログラム毎秒(kg/s)とし、計量法ではキログラムをグラム、トンに、秒を時、分に置き換えた単位も認めている。
推定される流体が気体である場合、体積は圧力や温度で変化するので標準状態の大気の体積に換算して表示する。
Q. 体積流量とは?
A. 流体の流量を表現する場合に体積で考えた場合を指す。一般に流量と言った場合は体積流量を指すことが多く、日本の計量法でも体積流量のことを単に流量と表現している。
単位は、SI単 位系では(立方メートル)毎秒(㎥/s)を用いる。計量法では他に立方メートルをリットルに、秒を時・分に置き換えた単位も認めている。
Q. PID制御とは?
A. Proportional integral & derivation Control。比例動作、積分動作および微分動作を持った制御方式。
Q. CEマーキングとは?
A. EU(欧州連合)域内で流通させる製品に対して、その使用者及び消費者の健康及び安全を保護する事等を目的に、欧州委員会が発令したニューアプローチ指令を尊守し、 EU域内におけるその製品の自由流通を確保する事。
従って、欧 州への輸出に関係する企業や欧州に生産拠点を持つ企業にとっては、必須の条件としてCEマーキングへの対応が必要となる。
Q. オートゼロ機能 とは?
A. 流体の移動が無い状態で生じるマスフロー機器のゼロ点ドリフトのオフセット値を、一定の条件下で自動的にキャンセルさせる機能。
デジタルタイプのMF製品や周辺機器に搭載される。
Q. パターン設定機能とは?
A. MFCにおいて、流量設定値を複数記憶させ、外部よりの接点切り換え動作により流量値を変更させる機能。
シーケンサー等で簡単に任意流量値に変更することが可能となる。
Q. 実ガス校正とコンバージョンファクター法について
A. マスフローは、基本的にN2ガスで流量校正されて出荷されます。熱式センサーは、原則的には実ガス校正されたものしか精度は保証できません。
現在、弊社で実ガスでの校正が可能なのは、N2,O2,H2,He,CO2,Arです。
その他のガスに関しましてはN2に 対する一定の変換係数=コンバージョンファクター(CF)を用い て、N2ガスにて校正いたします。
例えば、N2で校正されたマスフローを用いてArを流した場合、 ArのC.F.を1.4とするとマスフローの指示値より実際は1.4倍多く流れます。
つまりAr流量=1.4×N2マスフローの流量表示になります。
CFは、計算上もしくは実ガス測定によるデータの蓄積で種々のガスについて出しておりますが、実際ガスの状態(温度、圧力)、マスフローのセンサー方式、バイパス(層流素子)の組み合 わせにより、一つのガスでもある偏差があったり、複数存在したりすることもあります。
公表されておりますCFはあくまで目安的な使い方としてお考えいただきたく思います。
CFを用いずあくまで実ガスでの校正をご希望の場合は、実ガスを提供して頂く形をとらせていただき校正を行います。
ただし一部危険ガスにつきましては、製品、設備等の関連でご希望に添えない場合もございますので、前もって弊社までご確認下さい。
Q. 仕様表記に関して
A. (精度)F.S.±○% という形で表示しています。
この値は弊 社基準流量計に対する校正基準としたガス( N2等)での誤差のフルスケール値に対する%値です。
従って、例えばフルスケー ル50SCCMのレンジの場合、精度が±1%であれば、50×(1/100)=±0.5SCCMの「不確かさ」で弊社基準流量に対して保証されるという事になります。
(繰り返し性)
フルスケール±○% という形は精度と同じです。この値は環境条件を同一に規定した状態で設定した流量を繰り返し弊社基準流量計で測定した値の偏差を表しています。環境条件に変化を与えた後、値の偏差を表す再現性とは定義が異なります。
(応答性)
流量ゼロから制御を開始し、マスフローの出力がフルスケー ル98%に安定する時間で示しています。100%は、漸近線状の場合、解析しづらい為、通常この様に表記します。
注意)
流量レンジで表記します値はあくまでもN2( or Air)ガスを流 した場合のフルスケール(100%)値を示します。
その為、同 じ流量でもガス種、圧力条件が異なると御希望の仕様のものが作れない場合があります。
前もって弊社までご確認下さい。