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技術・サポート
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技術情報
製品に関連した各種技術を紹介します。
圧力制御バルブ
圧力制御バルブの種類
圧力制御バルブは、流量コントロール制御において、フローにかかる圧力を一定状態にコントロールしたり、圧力を減じたりするためのバルブです。圧力制御バルブには、一般的に減圧弁(プレッシャーレギュレータ)と背圧弁(バックプレッシャーレギュレータ)があり、それぞれ図のような記号で表されます。 減圧弁は、供給側の変動する圧力に対し出口側の圧力を一定にするための調節弁です。一般に装置の初段に多く用いられます。 これに対し背圧弁は、一次側圧力が設定値以上になった時、バルブを通してその圧力(ガス)を逃がして、一次側の圧力を一定にする弁です。 減圧弁は出口側の圧力をコントロールしますので、出口側に圧力計を取り付けて用いています。6600などは、圧力ゲージポートがついていますので、この様な場合はこのポートに圧力計を接続します。このポートの圧力は事実上、出口と等価です。
流量特性表
カタログ内に掲載しております減圧弁流量特性のグラフは図に示しましたフローシートにて計測しております。 一次圧(供給圧力)は、流量特性例のグラフでは686kPa(G)です。減圧弁の後段に負荷抵抗として、ニードルバルブクローズ状態(流量0)で減圧弁で二次圧を設定します。この値がグラフの流量0、即ち左端の値になります。次にニードルバルブを開け、ガスを流し流量に応じ設定された圧力(二次圧)が変化する状態をプロットしています。流量(負荷抵抗の変化)により、設定された圧力が変化しない状態が最も好ましい状態ですが、減圧弁の特性により、ある流量までは若干の影響が出、さらに限界に達すると圧力が変化してしまいます。この変化の最も少ない領域が、減圧弁の使用領域となります。流量特性例のグラフにおいて、一次側圧力686kPa(G)の時、設定圧力が294kPa(G)であれば、図の○印以下の流量では特性が良いのですが、11L/min以上流すと圧力特性が悪くなってきます。11L/min以下で使用してください。
圧力特性表
減圧弁の場合は前記フローシートの一次側圧力を変化させた時の二次側の圧力変動を示します。 制御特性は一次圧力増加の場合と減少の場合で若干特性が異なりますので変化させていった状況を矢印で示しています。
プレッシャーレギュレータ(6600)の原理
ツマミを反時計方向に回すと調圧スプリングが弛み、ダイヤフラムの面に加わる圧力は大気圧のみとなります。 この時、IN側より供給されたガスによってステムが押上げられオーリングにボールが当たりノズル部がシールされOUT側にガスが流れ込まなくなります。 ツマミを時計方向に回すと調圧スプリングが押さえられ、ダイヤフラムの面に加わる圧力は大気圧+調圧スプリングのバネ圧になります。 調圧スプリングによって押さえられたダイヤフラムは、ステムを押し下げてノズル部の開路ができます。 ボンネット内部は大気圧+調圧スプリングによって、ダイヤフラム面に加わる圧力が常に一定である為に、一次側圧力が変動してもステムによって二次側圧力を一定に保ちます。
バックプレッシャーレギュレータ(6800)の原理
6600の動作と逆の動作になります。 ボンネット内部は大気圧+調圧スプリングによって、ダイヤフラム面に加わる圧力が常に一定に保たれています。本体内部は一次側の圧力を一定に保つようにバルブスプリングによって調圧し、変動した圧力をノズル部を通りOUT側に排気し、調整します。