オゾンガス発生装置とは、空気から濃縮した酸素を取り出し、無声放電式オゾナイザーに流すことでオゾンガスを発生させる装置です。
従来のオゾン発生装置の大半は、原料ガスを空気に頼るため、オゾナイザーにより、空気中の酸素をオゾン化する際に副産物として有毒なNOxガスを大量に発生させてしまいます。
弊社の装置はPSA方式により、濃縮した酸素ガスを原料としていますので、有毒なNOxガスの発生を大幅に低減しました。

※PSA方式により、濃縮した酸素ガスを発生する仕組みについては、酸素ガス発生装置の原理を参照ください。

無声放電空間に酸素ガスを流すことによって、酸素の一部がイオン化され、これに通常の酸素と結合することでオゾンが生まれます。弊社では、無声放電式のオゾナイザーを採用しています。

無声放電式オゾナイザー構造図

• 無声放電
  一定の間隔を置いた平板の片側、もしくは両側の電極を絶縁体（誘電体）で覆い、交流電圧をかけた場合に起こる放電。誘電体バリア放電ともいう。電極が絶縁体で覆われているため電極に電荷が流れ込むことができず、大きな電流が流れない。そのため火花放電やコロナ放電のように放電時に音がせず、そのため無声放電と呼ばれる。放電部分は空気中では紫がかった光を発する。この放電はオゾン生成装置（オゾナイザー）やプラズマディスプレイ、NOxやSOxといった有害排気ガスの分解などに応用される。
• PSA
  Pressure Swing Adsorptionの略で加圧、減圧を繰り返し吸着剤により、不要なガスを選択吸着する圧力変動吸着方式のこと。