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マスフローコントローラ/ メータ

マスフローコントローラ/ メータ

マスフローコントローラ/メータは、メカニカルなフローメータやバルブに比較して、質量流量計測であるため温度や圧力の影響を受けづらく、また、流量を電気信号でやりとりできる特徴があります。精度、再現性、応答性、コストを要求される、半導体、光ファイバー、分析、燃料電池、液晶、有機EL、バイオ、食品、環境計測、燃焼ガス制御、工場設備、実験設備等のあらゆるプロセス、装置で用いられています。

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