PRODUCTS

製品情報

メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ

MODEL EX-550 SERIES

■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量:気体 10SCCM~5SLM
■精度:±1%S.P.(25~100%F.S.)
    ±0.25%F.S.(~25%F.S.)

  • メタルシール
  • S.P.精度で高精度な計測が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内
  • ロータリースイッチによるガス種切替可能
  • RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC/4-20mA選択可能、電源±15VDC/24VDC選択可能