PRODUCTS
製品情報
メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータ
MODEL EX-550 SERIES
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 10SCCM～5SLM
■精度：±1%S.P.(25～100%F.S.)
±0.25%F.S.(～25%F.S.)
- メタルシール
- S.P.精度で高精度な計測が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内
- ロータリースイッチによるガス種切替可能
- RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC/4-20mA選択可能、電源±15VDC/24VDC選択可能
