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製品情報
PIマスフローコントローラ
MODEL ST-500 SERIES
■対象流体：気体
■最大流量：気体 100SCCM～30SLM
■精度：±1%S.P.(10～100%F.S.)
±0.1%F.S.(2～10%F.S.)
- PI … Pressure Insensitive
圧力変動に対し安定した流量制御が可能 - ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシール
MFCで、EP処理及び酸化皮膜処理により
腐蝕性流体に対応 - DeviceNet通信対応
- Wシール継手対応
- S.P.精度で高精度な計測が可能、
全流量制御範囲 応答1sec以内 - 専用アプリによるマルチレンジ機能
