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製品情報

ハイグレードマスフローコントローラ

MODEL 3200 SERIES

■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量:気体 1SCCM~20SLM
■精度:±1%F.S.

  • 微少流量に対応(N₂換算でF.S.1SCCMから)
  • ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリューム低減