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製品情報

小型デジタルマスフローコントローラ/メータ

MODEL EX-250S SERIES

■対象流体:気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量:気体 5SCCM~10SLM
■精度:±1%F.S.

  • コンパクト設計
  • 全流量制御範囲 応答1sec以内
  • ロータリースイッチによるガス種切替可能
  • RS485通信機能あり、アナログ入出力0-5VDC/4-20mA選択可能、電源±15VDC/24VDC選択可能