PIマスフローコントローラ【ST-500】の製品ページを公開しました

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ST-500はPI機能を搭載したMFCです。従来型MFCは、供給側の圧力変動に過敏に反応し、瞬間的に大きく流量が乱れる等、制御が不安定になる課題がありました。本製品は圧力センサを搭載し、圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能です。半導体製造装置等、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに適しております。

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