電子デバイス産業新聞に『KSFV-100』と『ST-500』の記事が掲載されました
電子デバイス産業新聞 新MFCを提案 圧力変動に対応 コフロック㈱(京都府京田辺市)は、新型マスフローコントローラー(MFC)の「ST-500」を半導体製造装置向けに拡販している。PI(圧力鈍感性)機能を備え、圧力変動に […]
電子デバイス産業新聞 新MFCを提案 圧力変動に対応 コフロック㈱(京都府京田辺市)は、新型マスフローコントローラー(MFC)の「ST-500」を半導体製造装置向けに拡販している。PI(圧力鈍感性)機能を備え、圧力変動に […]