日刊工業新聞に弊社記事「半導体装置の洗浄液削減」が掲載されました
コフロック 流量制御バルブ開発 【京都】コフロック(京都府京田辺市、小島望社長)は、薬液や純水の使用量を減らしたい半導体洗浄装置向けに新型流量制御クリーンバルブを開発した。バルブ部は不純物(コンタミ)残留がな独自構造で、 […]
コフロック 流量制御バルブ開発 【京都】コフロック(京都府京田辺市、小島望社長)は、薬液や純水の使用量を減らしたい半導体洗浄装置向けに新型流量制御クリーンバルブを開発した。バルブ部は不純物(コンタミ)残留がな独自構造で、 […]