本器は、ガス供給圧(入口側)の圧力が変化する場合、一定流量を流すことのできる定流量弁MODEL2204と、精密流量計RK1400をセットにした流量計で、微少流量から中流量まで高精度に計測制御できます。

特長

・流量計出口圧力が一定の条件で、入口側の圧力変動が生じても常に一定流量を
　確保できます。

・フローコントローラは精密制御特性の優れた2204をベースに製作されており、
　微少流量でもスムーズなコントロールが可能です。

・流量計測部は高精度フロート式流量計RK1400がベースになっており、
　信頼性の高い流量が得られます。


流量レンジ：F.S. 10 mL/min ～10 L/min

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(実ガス校正)
その他のガスは換算校正

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください