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フローメータ内蔵型ガス混合装置

GM SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体　1ライン10mL/min～20L/min　/　トータル40L/min
■精度：±2%F.S.

  • 優れた安定性、再現性、気密性、温度特性
  • 微少流量のガス制御が可能