トップページ > マスフローコントローラ/メータ/周辺機器 > 小型ハンディ質量流量制御/測定ユニット

小型ハンディ質量流量制御/測定ユニット FLOW COMPO

小型ハンディ質量流量制御/測定ユニット

小型DIN72×72の電源表示器「CR-400」ととMFC/MFMをドッキングさせた小型ハンディ流量制御/測定ユニットです。

カタログダウンロード 取扱説明書ダウンロード CAD図ダウンロード

特徴

    ・小型、軽量の一体型ユニット

    ・タッチパネル式でF.S.スケーリング、流量設定、バルブ開閉が簡単操作

    ・継手はワンタッチ~チューブ継手まで自由に選択

    ・腐食性ガス用のメタルシール仕様については、別途お問い合わせ下さい


    流量レンジ:1SCCM~20SLM (N2 換算)


    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

この商品について

この製品に関するお問い合わせ各種資料のダウンロード