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ハンディ質量流量制御/測定ユニット

FLOW COMPO™

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体　1SCCM～20SLM
■精度：±1%F.S.

  • リードアウトユニットCR-400Bとマスフローコントローラ/メータをドッキングしたハンディ質量制御/計測ユニット