ハイグレード マスフローメータ MODEL 3100 SERIES

ハイグレード マスフローメータ

MODEL3100シリーズは、MODEL3200シリーズをベースにして開発された高精度流量測定用新型マスフローメータです。圧力損失の少ない新方式の細管流量センサーの採用で、高速応答と長期安定性を確保したハイグレードモデルです。

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特長

    ・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現。

    ・F.S.1SCCM の微少流量対応(SR オプション)

    流量レンジ:1SCCM~20SLM (N2 換算)

    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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