HFC-303は、大流量制御のために開発されたソレノイド式パイロットバルブ+エア駆動式流量制御バルブの組み合せにより、従来では難しかった大流量での高精度ガス制御を可能にしたマスフローコントローラです。幅ひろい産業分野で採用実績を持つHFC-203シリーズの後継機として、更なる高精度、高速応答を実現したニューモデルです。

特長

・2段式制御バルブで1000SLMまでの大流量に対応

・大流量マスフローでも高精度±1.0% を実現

・従来機種を上回る高速応答性能を確保

・1000SLMを超える大流量対応については、お問合せ下さい

流量レンジ：100～1000SLM (Air 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください