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ハイグレードメタルシール マスフローコントローラ MODEL 5100 SERIES

ハイグレードメタルシール マスフローコントローラ

MODEL5100シリーズは、半導体プロセスガス制御に要求される溶接レス構造、メタルシール、精度±1%以内の基本性能をクリアしたマスフローコントローラです。搭載センサーの応答性、分解能に優れ、1SCCM(N2)からの微小流量にも対応しております

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特長

    ・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現

    ・ソレノイド・ノーマリークローズバルブを採用

    ・溶接レス構造、メタルシール化により低リーク

    ・ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減

    ・面間・ボディ寸法、配線取り合いは他社置き換えに対応した構成


    流量レンジ:1SCCM~20SLM (N2 換算)

    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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