MODEL5100シリーズは、半導体プロセスガス制御に要求される溶接レス構造、メタルシール、精度±1%以内の基本性能をクリアしたマスフローコントローラです。搭載センサーの応答性、分解能に優れ、1SCCM(N2)からの微小流量にも対応しております

特長

・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現

・ソレノイド・ノーマリークローズバルブを採用

・溶接レス構造、メタルシール化により低リーク

・ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減

・面間・ボディ寸法、配線取り合いは他社置き換えに対応した構成

流量レンジ：1SCCM～20SLM (N2 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください