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メタルシールマスフローコントローラ

MODEL 5100 SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体　10SCCM～20SLM
■精度：±1%F.S.

  • メタルシール
  • 微少流量に対応(N₂換算でF.S.1SCCMから)
  • ダイヤフラムシートバルブによりデッドボリューム低減