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スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES

スタンダード マスフローコントローラ

MODEL3660シリーズは、コンパクト&ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラです。大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。

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特長

    ・改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し、高速応答を実現。

    ・安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用。

    ・ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保。

    ・燃焼ガス制御用の低差圧仕様(LP オプション)。

    流量レンジ:10SCCM~100SLM (N2 換算)

    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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