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オールメタルデジタルマスフローコントローラ/メータ MODEL EX-550 SERIES

オールメタルデジタルマスフローコントローラ/メータ

安定性の優れた高速巻線センサーを搭載したオールメタルMFCです。SEMI対応の面間106mmであり、RS485通信を標準装備。1.0%S.P.を実現した高精度腐食ガス対応製品です。

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特長

    □メタルシール構造
    □ローコストながら高精度計測
    □高速応答で優れたゼロ点安定性
    □入出力信号は0-5V又は4-20mA、電源は
     ±15V又は24V単一電源から注文時選択可能

    □電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用
    □ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されて
     いるガス種が使用可能

     ※流量はN2ガスとの比による計算値
    □通信機能を標準装備(RS485)

    流量レンジ:10SCCM~5SLM (N2 換算)

    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2 等

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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