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表示器付デジタルマスフローメータ

EXE-FLOW™ MODEL EX-700R SERIES

■対象流体：気体　N₂(Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄/C.F.切替)
■最大流量：気体　10SCCM～500SLM
■精度：±1～1.5%F.S.

  • 表示器一体型で各種機能使用可能（瞬時/積算流量表示、ガス種切替、C.F.任意設定、アラーム設定、校正温度切替ほか）
  • RS485通信機能あり、アナログ出力4-20mAあり(0-5VDC/1-5VDCに変更可能)、積算パルス出力あり
  • ニードルバルブあり仕様であれば流量の制御も可能