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一次圧変動型気体用フローコントローラ

MODEL 2204 SERIES

■対象流体：気体　N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体　10mL/min～10L/min(Air 20℃)

  • 入口側(一次側)圧力変動に対して一定流量を保持可能
  • 非回転式構造で優れた制御性能