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製品情報
多機能・インテリジェントモデルガス混合装置
BRENDA® SERIES
■対象流体：気体 N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂等
■最大流量：気体 1ライン5SCCM～10SLM / トータル100SLM
■精度：±1%F.S.
- 高性能マスフローコントローラを採用
- 混合ガス流量設定モード/混合ガス比率設定モード 切替可能
- ステップモードで事前に設定したプログラム運転が可能
- VNCサーバ機能でリモート制御が可能
- データロギング機能で運用状態を記録し、背面USBポートより取り出し可能
- 緊急遮断、上下限設定、流量積算、権限設定など各種機能あり
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BRENDA 特長
