特長

    ・超微少の流量制御が可能

    ・精密ニードルバルブ使用

    ・下部・上部2タイプのバルブ

    ・豊富なバリエーション

用途

 ・機器組込用に
 ・半導体関連ガス機器に
 ・バイオ産業向けに
 ・真空ライン制御に


標準仕様


キャパシティリスト



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