MODEL5410は、基本性能を更に向上させたマスフロメータです。 外観はコンベンショナルな製品ですが、 センサードライブ方式を改良しゼロドリフトを低減しました。 削出し継手も加え、メタルシール構造による高い気密性を確保した製品です。

特長

□ 各流量レンジにおける精度が向上

□ 微小流量にも対応可（オプション仕様）

□ 溶接レス構造（VCR 仕様）、メタルシール化により低リーク

□ 安価な価格設定

流量レンジ：10SCCM～20SLM (N2 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください