MODEL5410は、基本性能を更に向上させたマスフロメータです。
外観はコンベンショナルな製品ですが、
センサードライブ方式を改良しゼロドリフトを低減しました。
削出し継手も加え、メタルシール構造による高い気密性を確保した製品です。
特長
□ 各流量レンジにおける精度が向上
□ 微小流量にも対応可(オプション仕様)
□ 溶接レス構造(VCR 仕様)、メタルシール化により低リーク
□ 安価な価格設定
流量レンジ:10SCCM~20SLM (N2 換算)
対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください