高性能デジタルMFC「DF250C　SERIES」から オールメタルモデル「DF-550」を発売。 メタルシール構造で半導体プロセスガス等、 腐食ガスの計測制御が可能です。

特長

□ 新型ソレノイドによる応答性向上で全流量域1秒以下の高速応答
□ ステンレスシールにより高反応性ガスに対応
□ 10SCCM～10SLMまでラインナップ
□ 通信ポート2ヶ搭載でデイジーチェーン可能
□ RS-485通信機能標準搭載

流量レンジ：10SCCM～10SLM (N2 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください