高性能デジタルMFC「DF250C SERIES」から
オールメタルモデル「DF-550」を発売。
メタルシール構造で半導体プロセスガス等、
腐食ガスの計測制御が可能です。
特長
□ 新型ソレノイドによる応答性向上で全流量域1秒以下の高速応答
□ ステンレスシールにより高反応性ガスに対応
□ 10SCCM~10SLMまでラインナップ
□ 通信ポート2ヶ搭載でデイジーチェーン可能
□ RS-485通信機能標準搭載
流量レンジ:10SCCM~10SLM (N2 換算)
対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください