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デジタルマスフローコントローラ MODEL DF-250C SERIES

デジタルマスフローコントローラ

DF-250シリーズは、50SLM以下仕様にて応答性1秒以内(全領域)を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。
同シリーズは大流量500SLMまでのラインナップを取り揃えています。

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特長

    □ 標準ガスは実ガスにて校正
    □ ~50SLM 全領域1秒以内の高速応答
    □ 10SCCM~500SLMまでラインナップ
    □ 通信機能を標準装備(RS485)


    流量レンジ:10SCCM~500SLM (N2 換算,100L以上Air換算)

    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等 (-50L) Air,N2(-500L)

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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