安定性に優れた高速巻線センサーと小型比例ソレノイドバルブを採用し、コンパクトでありながら、通信機能を標準装備(RS485)、高精度・高速応答を実現したデジタルマスフローデイバスです。

特長

□コンパクトマスフローデバイス(W76×D30×H76)
□ローコストながら高精度計測
□高速応答で優れたゼロ点安定性
□入出力信号は0-5V又は4-20mA、電源は
　±15V又は24V単一電源から注文時選択可能
□電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用
□ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されているガス種が使用可能
　※流量はN2ガスとの比による計算値

□通信機能を標準装備(RS485)


流量レンジ：5SCCM～10SLM (N2 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください