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デジタルマスフローコントローラ MODEL DF-550C SERIES

デジタルマスフローコントローラ

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特長

    高性能デジタルMFC「DF-250C SERIES」からオールメタルモデル「DF-550C」を発売!
    メタルシール構造で半導体プロセスガスなど腐食性ガスの計測制御が可能です。


    □ 新型ソレノイドによる応答性向上で全流量域1秒以下の高速応答
    □ ステンレスシールにより高反応性ガスに対応
    □ 10SCCM~10SLMまでラインナップ
    □ 通信ポート2ヶ搭載でデイジーチェーン可能
    □ RS-485通信機能標準搭載
    □ RoHS・CE規格対応

標準仕様


配線取合

デジタルマスフローコントローラ

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