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デジタルマスフローコントローラ MODEL DF-250C SERIES

デジタルマスフローコントローラ

DF-250シリーズは、50SLM以下仕様にて応答性1秒以内(全領域)を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。
同シリーズは大流量500SLMまでのラインナップを取り揃えています。

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特長

    □ 標準ガスは実ガスにて校正
    □ ~50SLM 全領域1秒以内の高速応答
    □ 10SCCM~500SLMまでラインナップ
    □ 通信機能を標準装備(RS485)
    □ RoHS・CE規格対応

標準仕様


配線取合

デジタルマスフローコントローラ

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