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小型ハンディ質量流量制御/測定ユニット FLOW COMPO

小型ハンディ質量流量制御/測定ユニット

小型DIN72×72の電源表示器「CR-400」ととMFC/MFMをドッキングさせた小型ハンディ流量制御/測定ユニットです。

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特徴

    ・小型、軽量の一体型ユニット

    ・タッチパネル式でFSスケーリング、流量設定、バルブ開閉が簡単操作

    ・継手はワンタッチ~チューブ継手まで自由に選択

    ・MFC搭載タイプ(FCCシリーズ)は、OPENスイッチを押すことでMF
    Mとして使用可能

    ・腐食性ガス用のメタルシール仕様については、別途お問い合わせ下さい

標準仕様



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