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液体用小型カルマン渦流量計 FM31 SERIES

液体用小型カルマン渦流量計

流れの中に障害物(柱状物体、渦発生体)を置くと、その後方には規則的なカルマン渦が発生します。

このカルマン渦の発生周波数は、所定の範囲では流速に比例します。

本渦流量計はこの原理を応用したもので有り、渦発生周波数を渦検出器(圧電素子)で検出して
信号処理回路により体積流量に比例した信号を出力します。

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特長

    ・可動部が無く、信頼性、耐久性に優れており、また取付姿勢の誤差が有りません

    ・流路には渦発生体と渦検出器があるだけというシンプルな構造で、圧力損失が小さく
     液漏れが少ない。検出器が接液していないので各種液体プロセス監視には最適です


    ・ボディ材質は、PFA で、パーティクルフリーです

    ・MODEL 31 シリーズは接液部オールテフロン、O リングレスで半導体プロセス
     の液体流量監視に最適です



    流量レンジ:4L,20L,50L,100L (水)

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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