本器は高真空、高圧、高温、有毒ガス等の使用に耐えるよう設計されたベローズシール型ニードルバルブを装着した流量計です。

特長

・ヘリウムリークディテクターで全品リークテストをしていますからリークに対し
　 高い信頼性があります。

・ベローズシール型ですからニードルバルブの軸からのリークは全くありません。

・流体接触部の材質はSUS316、フッ素樹脂、フッ素ゴム、パイレックス/
　 硬質ガラス以外は使用していない為、耐食性に優れています。

・精密成形法を採用したトライフラット、 リブガイド型のフローメータチューブと
　 超精密球で構成された精度の高い再現性、安定性に優れた流量計に、なめらかな
　 流量特性をもつ精巧なニードルバルブが装着されています。

流量レンジ：F.S. 0.5～5mL/min ～　3～30L/min

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(実ガス校正)
その他のガスは換算校正

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください