本器は高真空、高圧、高温、有毒ガス等の使用に耐えるよう設計されたベローズシール型ニードルバルブを装着した流量計です。
特長
・ヘリウムリークディテクターで全品リークテストをしていますからリークに対し
高い信頼性があります。
・ベローズシール型ですからニードルバルブの軸からのリークは全くありません。
・流体接触部の材質はSUS316、フッ素樹脂、フッ素ゴム、パイレックス/
硬質ガラス以外は使用していない為、耐食性に優れています。
・精密成形法を採用したトライフラット、 リブガイド型のフローメータチューブと
超精密球で構成された精度の高い再現性、安定性に優れた流量計に、なめらかな
流量特性をもつ精巧なニードルバルブが装着されています。
流量レンジ:F.S. 0.5~5mL/min ~ 3~30L/min
対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(実ガス校正)
その他のガスは換算校正
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください