流れの中に障害物(柱状物体、渦発生体)を置くと、その後方には規則的なカルマン渦が発生します。

このカルマン渦の発生周波数は、所定の範囲では流速に比例します。

本渦流量計はこの原理を応用したもので有り、渦発生周波数を渦検出器(圧電素子)で検出して
信号処理回路により体積流量に比例した信号を出力します。

特長

・可動部が無く、信頼性、耐久性に優れており、また取付姿勢の誤差が有りません

・流路には渦発生体と渦検出器があるだけというシンプルな構造で、圧力損失が小さく
　液漏れが少ない。検出器が接液していないので各種液体プロセス監視には最適です

・ボディ材質は、PFA で、パーティクルフリーです

・MODEL 31 シリーズは接液部オールテフロン、O リングレスで半導体プロセス
　の液体流量監視に最適です


流量レンジ：4L,20L,50L,100L (水)

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください