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液体フローコントローラ FCL-200

液体フローコントローラ

FCL-200は液体流量制御用に開発された接液部オールテフロン製の液体流量コントローラであり、純水での半導体プロセス流体制御や医薬、食品関係の液体制御に最適です。

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特長

    ・接液部オールテフロン製によりクリーンな流体を一定流量制御可能

    ・専用の新型バルブ構造によりパーティクルがほとんど発生しません

    ・高温タイプは80℃まで制御可能

    ・RS232Cでのデジタル制御可能

    ・RoHS・CE規格対応

標準仕様


電気仕様



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