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プレッシャーレギュレーティングバルブ MODEL 6610

プレッシャーレギュレーティングバルブ

本器はMODEL6600より低圧力側に精度を上げ、再現性がよく、確実、迅速に圧力調整できるものとして開発されました。




高感度の分析機器、研究開発用、半導体製造装置用として最適な製品です。

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特長

    ・低圧力側での高精度制御特性
      0.01~0.1MPa の設定圧条件で一次側圧力変動、二次側負荷抵抗変動
       に対して、再現性±1% 以内の高い制御性能を有しています。

    ・ノングリス仕様
      接ガス部分はステンレス、フッ素ゴム、フッ素樹脂仕様で、グリス類を一切使用して
       いませんので、ピュアな状態を要求される半導体分野等に最適です。

    ・ロックナット付構造
      一回設定した調圧位置をロックナットにて固定し、設定の変化を防止することが
       できます。

    ・ノンブリードタイプ
      ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れることがありませんので安心して
       ご使用いただけます。


    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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