小型DIN72×72の電源表示器「CR-400」ととMFC/MFMをドッキングさせた小型ハンディ流量制御/測定ユニットです。
特徴
・小型、軽量の一体型ユニット
・タッチパネル式でF.S.スケーリング、流量設定、バルブ開閉が簡単操作
・継手はワンタッチ~チューブ継手まで自由に選択
・腐食性ガス用のメタルシール仕様については、別途お問い合わせ下さい
流量レンジ:1SCCM~20SLM (N2 換算)
対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください