小型DIN72×72の電源表示器「CR-400」ととMFC/MFMをドッキングさせた小型ハンディ流量制御/測定ユニットです。

特徴

・小型、軽量の一体型ユニット

・タッチパネル式でF.S.スケーリング、流量設定、バルブ開閉が簡単操作

・継手はワンタッチ～チューブ継手まで自由に選択

・腐食性ガス用のメタルシール仕様については、別途お問い合わせ下さい

流量レンジ：1SCCM～20SLM (N2 換算)


対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください