MODEL HFM-200W/LSシリーズは大流量のガス流量計測が可能なマスフローメータです。HFM-200にラミナーフローエレメントを装着することで、マスフローメータでは難しい15000SLMまでの大流量を低圧損で測定できます。

特長

・ラミナーフローエレメントによるダブルバイパス構造で大流量計測が可能

・供給圧力がとれないラインでの低圧損測定が可能

・大流量でも±3～5% の高精度計測

・0～5VDC のアナログ流量出力は計測記録、制御、警報等様々な応用が可能

・マスフロー(質量流量)なので面倒な温度・圧力による流量補正計算は不要


流量レンジ：1500～15000SLM (Air 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください