HFM301シリーズは、1000SLMまでのガス流量の正確な測定が可能です。また、高圧使用に対応可能な設計(標準:3.4MPa、オプション:6.8MPa)になっており、幅ひろい産業分野での使用に高い信頼性を提供します。

特長

・0～5V のリニア流量出力信号

・大流量を高精度計測

・従来機種を上回る高速応答

・コンパクトなサイズで省スペース化に貢献

流量レンジ：100～1000SLM (Air 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください