HFM301シリーズは、1000SLMまでのガス流量の正確な測定が可能です。また、高圧使用に対応可能な設計(標準:3.4MPa、オプション:6.8MPa)になっており、幅ひろい産業分野での使用に高い信頼性を提供します。
特長
・0~5V のリニア流量出力信号
・大流量を高精度計測
・従来機種を上回る高速応答
・コンパクトなサイズで省スペース化に貢献
流量レンジ:100~1000SLM (Air 換算)
対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください