MODEL3100シリーズは、MODEL3200シリーズをベースにして開発された高精度流量測定用新型マスフローメータです。圧力損失の少ない新方式の細管流量センサーの採用で、高速応答と長期安定性を確保したハイグレードモデルです。

特長

・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現。

・F.S.1SCCM の微少流量対応(SR オプション）

流量レンジ：1SCCM～20SLM (N2 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください