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ローコストメタルシール マスフローメータ MODEL 5410 SERIES

ローコストメタルシール マスフローメータ

MODEL5410は、基本性能を更に向上させたマスフロメータです。 外観はコンベンショナルな製品ですが、 センサードライブ方式を改良しゼロドリフトを低減しました。 削出し継手も加え、メタルシール構造による高い気密性を確保した製品です。

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特長

    □ 各流量レンジにおける精度が向上

    □ 微小流量にも対応可(オプション仕様)

    □ 溶接レス構造(VCR 仕様)、メタルシール化により低リーク

    □ 安価な価格設定


    流量レンジ:10SCCM~20SLM (N2 換算)

    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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