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ハイグレードマスフローコントローラ MODEL 3200 SERIES

ハイグレードマスフローコントローラ

MODEL3200シリーズは、半導体、液晶、燃焼、分析、バイオ等幅広い分野で実績を誇る3910シリーズの後継機として設計された新型マスフローコントローラです。新しいコフロック・スタンダードにふさわしいハイパフォーマンスモデルです。

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特長

    ・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現

    ・安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用

    ・ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減

    ・F.S. 1SCCM の微少流量対応(SR オプション)

    流量レンジ:1SCCM~20SLM (N2 換算)

    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

    ・燃焼ガス制御用の低差圧対応(LPオプション)

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