MODEL3660シリーズは、コンパクト&ローコストをメインテーマとしたマスフローコントローラです。大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用機種として、数多くの実績を持ち、多彩な派生機種、オプションを用意しております。

特長

・改良型定電流温度差検出方式の流量センサーを搭載し、高速応答を実現。

・安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用。

・ソレノイドアクチュエーターで高信頼性を確保。

・燃焼ガス制御用の低差圧仕様(LP オプション）。

流量レンジ：10SCCM～100SLM (N2 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください