トップページ > 気体計測制御機器 > デジタルマスフローコントローラ

デジタルマスフローコントローラ MODEL DF-550C SERIES

デジタルマスフローコントローラ

高性能デジタルMFC「DF250C SERIES」から オールメタルモデル「DF-550」を発売。 メタルシール構造で半導体プロセスガス等、 腐食ガスの計測制御が可能です。

カタログダウンロード 取扱説明書ダウンロード CAD図ダウンロード

特長


    □ 新型ソレノイドによる応答性向上で全流量域1秒以下の高速応答
    □ ステンレスシールにより高反応性ガスに対応
    □ 10SCCM~10SLMまでラインナップ
    □ 通信ポート2ヶ搭載でデイジーチェーン可能
    □ RS-485通信機能標準搭載

    流量レンジ:10SCCM~10SLM (N2 換算)

    対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

この商品について

この製品に関するお問い合わせ各種資料のダウンロード