DFシリーズにて要望のあった24V電源で
使用できる表示器一体型のマスフローコントローラです。
DF200Cシリーズにて実現した精度±1%S.P.応答性1秒以内(全領域)、
また、基準ガスを含めた7種類のガス種とその流量レンジを
簡単な操作で変更できる、マルチレンジ、マルチガスの優れた
汎用性はそのままに利便性を上げています。
特長
□ 高精度(±1%S.P.)、高速応答(全領域1秒以内)
□ マルチレンジ・マルチガスに対応
□ 通信機能を標準装備(RS485)
□ 単電源電圧DC24V駆動
□ 表示器有無の選択可能
□ 入出力信号選択可能
流量レンジ:10SCCM~10SLM (N2 換算)
対応ガス種:N2(Air,O2,H2,He,Ar,CO2はソフトウェアにて変更)
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください