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デジタルマスフローコントローラ MODEL DF-300C SERIES

デジタルマスフローコントローラ

DFシリーズにて要望のあった24V電源で 使用できる表示器一体型のマスフローコントローラです。 DF200Cシリーズにて実現した精度±1%S.P.応答性1秒以内(全領域)、 また、基準ガスを含めた7種類のガス種とその流量レンジを 簡単な操作で変更できる、マルチレンジ、マルチガスの優れた 汎用性はそのままに利便性を上げています。

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特長


    □ 高精度(±1%S.P.)、高速応答(全領域1秒以内)
    □ マルチレンジ・マルチガスに対応
    □ 通信機能を標準装備(RS485)
    □ 単電源電圧DC24V駆動
    □ 表示器有無の選択可能
    □ 入出力信号選択可能

    流量レンジ:10SCCM~10SLM (N2 換算)

    対応ガス種:N2(Air,O2,H2,He,Ar,CO2はソフトウェアにて変更)

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

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