DFシリーズにて要望のあった24V電源で 使用できる表示器一体型のマスフローコントローラです。 DF200Cシリーズにて実現した精度±1%S.P.応答性1秒以内(全領域)、 また、基準ガスを含めた7種類のガス種とその流量レンジを 簡単な操作で変更できる、マルチレンジ、マルチガスの優れた 汎用性はそのままに利便性を上げています。

特長

□ 高精度（±1%S.P.）、高速応答（全領域1秒以内）
□ マルチレンジ・マルチガスに対応
□ 通信機能を標準装備（RS485）
□ 単電源電圧DC24V駆動
□ 表示器有無の選択可能
□ 入出力信号選択可能

流量レンジ：10SCCM～10SLM (N2 換算)

対応ガス種：N2(Air,O2,H2,He,Ar,CO2はソフトウェアにて変更)

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください