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デジタルマスフローコントローラ MODEL DF-200C SERIES

デジタルマスフローコントローラ

DF-200シリーズは、精度±1%S.P.応答性1秒以内(全領域)を実現した、高性能のデジタルマスフローコントローラです。また、基準ガスを含めた7種類のガス種とその流量レンジを簡単な操作で変更できる、マルチガス、マルチレンジに対応しており、優れた汎用性を持った製品となっています。

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特長


    □ 高精度(±1%S.P.)、高速応答(全領域1秒以内)
    □ マルチレンジ・マルチガスに対応
    □ 通信機能を標準装備(RS485)

    流量レンジ:10SCCM~10SLM (N2 換算)

    対応ガス種:N2(Air,O2,H2,He,Ar,CO2 ソフトウエアにて変更)

    詳細仕様については、上記カタログをご覧ください

この商品について

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