安定性の優れた高速巻線センサーを搭載したオールメタルMFCです。SEMI対応の面間106mmであり、RS485通信を標準装備。1.0%S.P.を実現した高精度腐食ガス対応製品です。

特長

□メタルシール構造
□ローコストながら高精度計測
□高速応答で優れたゼロ点安定性
□入出力信号は0-5Ｖ又は4-20mA、電源は
　±15Ｖ又は24Ｖ単一電源から注文時選択可能
□電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用
□ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されて
　いるガス種が使用可能
　※流量はＮ2ガスとの比による計算値
□通信機能を標準装備（RS485）

流量レンジ：10SCCM～5SLM (N2 換算)

対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2 等

詳細仕様については、上記カタログをご覧ください