オールメタルデジタルマスフローコントローラ/メータ MODEL EX-550 SERIES
安定性の優れた高速巻線センサーを搭載したオールメタルMFCです。SEMI対応の面間106mmであり、RS485通信を標準装備。1.0%S.P.を実現した高精度腐食ガス対応製品です。
特長
□メタルシール構造
□ローコストながら高精度計測
□高速応答で優れたゼロ点安定性
□入出力信号は0-5V又は4-20mA、電源は
±15V又は24V単一電源から注文時選択可能
□電源コネクタには汎用性の高いD-sub9ピンコネクタを採用
□ロータリースイッチを切り替えることで、本体に登録されて
いるガス種が使用可能
※流量はN2ガスとの比による計算値
□通信機能を標準装備(RS485)
流量レンジ:10SCCM~5SLM (N2 換算)
対応ガス種:Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2 等
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください
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