DF-250シリーズは、50SLM以下仕様にて応答性1秒以内(全領域)を実現した高性能のデジタルマスフローコントローラです。
同シリーズは大流量500SLMまでのラインナップを取り揃えています。

特長

□ 標準ガスは実ガスにて校正
□ ～50SLM 全領域1秒以内の高速応答
□ 10SCCM～500SLMまでラインナップ
□ 通信機能を標準装備（RS485）
□ RoHS・CE規格対応