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ベローズプレッシャーバルブ MODEL 5330 SERIES

ベローズプレッシャーバルブ

再現性・耐久性に優れたベローズ方式の膨張弁を分析機器用として開発した当社独自の精密圧力調整弁です。ノンリリーフタイプ、ノングリス構造であり、使用ガスが大気に接触する事もなく、汚れもないことから、標準ガス、半導体分野など高純度の気体の圧力制御に不可欠の調整弁です。

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特長

    ・ノングリス構造
      接ガス部分はグリス類を一切使用しておりませんので、ピュアな状態を要求される
       標準ガス分析計、半導体分野等に最適です。

    ・高精度
      一次側圧力変動による再現性、二次側負荷抵抗変動による再現性は±1%以内の高い
       精度が得られます。

    ・高安定
      金属ベローズをはじめ、すべて金属製の部品で構成されておりますので、耐久性に
       優れ、長期の連続使用にも一定圧力が保持できる性能を有しています。

    ・低差圧動作可能
      一次側供給圧力と二次側設定圧力の差圧は20kPa差圧で制御できます。

    ・ノンブリードタイプ
      ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れる事がありませんので、安心して
       ご使用頂けます。

用途

・ガス混合装置に
・高純度ガス制御に
・低圧制御に


標準仕様


特別仕様

・標準仕様以外のジョイントについては、別途ご相談下さい。



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