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プレッシャーレギュレーティングバルブ MODEL 6610

プレッシャーレギュレーティングバルブ

本器はMODEL6600より低圧力側に精度を上げ、再現性がよく、確実、迅速に圧力調整できるものとして開発されました。




高感度の分析機器、研究開発用、半導体製造装置用として最適な製品です。

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特長

    ・低圧力側での高精度制御特性
      0.01~0.15MPaの設定圧条件で一次側圧力変動、二次側負荷抵抗変動
       に対して、再現性±1%以内の高い制御性能を有しています。

    ・ノングリス仕様
      接ガス部分はステンレス、フッ素ゴム、フッ素樹脂仕様で、グリス類を一切使用して
       いませんので、ピュアな状態を要求される半導体分野等に最適です。

    ・ロックナット付構造
      一回設定した調圧位置をロックナットにて固定し、設定の変化を防止することが
       できます。

    ・ノンブリードタイプ
      ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れることがありませんので安心して
       ご使用いただけます。

用途

・ガスクロマトグラフ
・高純度ガス制御に
・低圧制御用機器に
・半導体分野等


標準仕様


流量特性

プレッシャーレギュレーティングバルブ

特別仕様

標準仕様以外のジョイントについては、別途ご相談下さい。



御購入について

・接続口ジョイント指定の場合、IN・OUTジョイントのみの指定となります。ゲージポートは止栓となります。
・圧力ゲージポートとOUTポートは等価です。どちらをゲージポートにしてもOUTにしてもかまいません。



この商品について

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