本器はMODEL6600より低圧力側に精度を上げ、再現性がよく、確実、迅速に圧力調整できるものとして開発されました。




高感度の分析機器、研究開発用、半導体製造装置用として最適な製品です。

特長

・低圧力側での高精度制御特性
　　0.01～0.1MPa の設定圧条件で一次側圧力変動、二次側負荷抵抗変動
　　 に対して、再現性±1% 以内の高い制御性能を有しています。

・ノングリス仕様
　　接ガス部分はステンレス、フッ素ゴム、フッ素樹脂仕様で、グリス類を一切使用して
　　 いませんので、ピュアな状態を要求される半導体分野等に最適です。

・ロックナット付構造
　　一回設定した調圧位置をロックナットにて固定し、設定の変化を防止することが
　　 できます。

・ノンブリードタイプ
　　ノンブリードタイプであり、ガスが外部に漏れることがありませんので安心して
　　 ご使用いただけます。


詳細仕様については、上記カタログをご覧ください